Искусственная плазма — это ионизированный газ, широко применяемый в современной промышленности. Технологии её генерации активно развиваются и находят применение в различных сферах — от металлургии до медицины.
Плазма — это четвертое состояние вещества, в котором часть атомов или молекул ионизирована. В промышленности используются различные методы её получения, которые можно разделить на несколько основных категорий.
Наиболее распространенный способ создания плазмы — использование электрического разряда. В зависимости от условий разряда и конструкции установки различают несколько типов:
Индукционные плазмотроны создают плазму без электродов, что увеличивает их ресурс и чистоту процесса. Принцип работы основан на возбуждении газового разряда высокочастотным электромагнитным полем.
Основные преимущества:
Применяется в химической промышленности для синтеза наноматериалов, в металлургии для плавки тугоплавких металлов.
Этот метод использует СВЧ-излучение (обычно 2,45 ГГц) для ионизации газа. Электромагнитная энергия поглощается электронами, которые ионизируют нейтральные атомы и молекулы.
Микроволновые плазменные системы особенно эффективны при низких давлениях (1-100 Па). Они нашли применение в полупроводниковой промышленности для травления и осаждения тонких пленок, а также в медицине для стерилизации инструментов.
Высокоинтенсивные лазерные импульсы могут создавать локальную плазму на поверхности материалов. Этот метод используется для:
Плазма, создаваемая лазером, существует кратковременно (пикосекунды-микросекунды), но достигает температур в миллионы градусов.
В промышленности находят применение магнитоплазменные ускорители различных типов:
Эти устройства создают высокоскоростные плазменные потоки (до 100 км/с), используемые для испытания материалов, плазменной обработки поверхностей и в других технологических процессах.
Каждый метод имеет свои преимущества и ограничения:
Современные исследования направлены на создание:
Особый интерес представляет холодная плазма, которая может использоваться для обработки термочувствительных материалов и в биомедицинских приложениях.